雙光干涉法、比色法
數(shù)字集成電路，模擬集成電路，數(shù)模混合集成電路。
替代式雜質、間隙式雜質
抗蝕劑中的小窗口會由于毛細作用而使得接觸孔不能被有效浸潤、被分解的材料不能被有效從反應區(qū)中清除。
