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問答題
【簡答題】試給出硅片上的熱氧化生長過程的示意圖，并說明其中的各物理量的基本含義。
答案：
F：number/（cm2-s）
C：number/cm3
F：number/（cm2-s）
C：number/cm3
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問答題
【簡答題】是說明什么是迪爾—格羅夫模型？試給出迪爾—格羅夫模型兩種極限情況的示意圖。并說明其物理意義。
答案：
Deal-Grove氧化模型（線性－拋物線模型 linear-parabolic model），是可...
問答題
【簡答題】氧化硅的熱動力學(xué)生長過程中包括哪幾個(gè)主要過程？并說明每一種過程中的什么因素對氧化生長速率有影響？其中決定因素是什么？
答案：
熱氧化過程中，氧化層的增厚包括三個(gè)過程：氧化劑從氣體內(nèi)部以擴(kuò)散形式輸運(yùn)到氣體—氧化層界面：氧化劑穿過滯流層到...
