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問答題
【簡答題】CVD分類及應(yīng)用？分哪幾類？分別用于制備哪些東西？
答案：
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問答題
【簡答題】簡述化學(xué)氣相淀積的原理？
答案：
①氣態(tài)反應(yīng)劑被輸送至反應(yīng)腔，以平流形式向出口流動。
②反應(yīng)劑從主氣流區(qū)以擴(kuò)散方式通過邊界層到達(dá)硅片表面。
②反應(yīng)劑從主氣流區(qū)以擴(kuò)散方式通過邊界層到達(dá)硅片表面。
問答題
【簡答題】簡述化學(xué)氣相淀積的概念？
答案：
化學(xué)氣相淀積（CVD）是通過混合氣體的化學(xué)反應(yīng)生成固體反應(yīng)物并使其淀積在硅片表面形成薄膜的工藝。反應(yīng)產(chǎn)生的其他副產(chǎn)物為揮...
