- 搜標題
- 搜題干
- 搜選項
問答題
【簡答題】列出4種曝光技術，并說明那種分辨率最高，說明各種曝光技術的優(yōu)缺點。
答案：
1、接觸式曝光：分辨率較高，可在亞微米范圍內(nèi)。接觸時的微粒會在晶圓上產(chǎn)生缺陷，光刻版的壽命也會減短。
2、接近...
2、接近...
