名詞解釋

升華

答案：

低于材料熔化溫度時，產生蒸汽的過程。
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名詞解釋

飽和蒸氣壓
答案：

在一定的溫度下，真空室內蒸發(fā)物質的蒸氣與固態(tài)或液態(tài)平衡時所表現(xiàn)出來的壓力。
名詞解釋

真空蒸發(fā)
答案：

利用蒸發(fā)材料在高溫時所具有的飽和蒸氣壓進行薄膜制備。
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