填空題

ARL-MA及ARL4460光譜儀采用()真空系統(tǒng),由初級(jí)泵()和次級(jí)泵()組成。其中()的轉(zhuǎn)速達(dá)()轉(zhuǎn)/分鐘,其完全停止需要5分鐘以上的時(shí)間。

答案: 無油型;薄膜泵;分子泵;分子泵;27000
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