問答題

【簡(jiǎn)答題】氧化工藝產(chǎn)生的SiO2為何種類型？并說明其結(jié)構(gòu)對(duì)其強(qiáng)度和密度的影響。

答案： 半導(dǎo)體工藝中用熱氧化法生長(zhǎng)的SiO2是典型的無定形SiO2。無定形SiO
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