問答題

【簡答題】敘述從硅砂到單晶硅棒和多晶硅錠的主要步驟及其相關(guān)制備工藝名稱。

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（2）冶金級硅提純?yōu)榘雽?dǎo)體級硅：西門子法和ASiMi法（硅烷法）；<...
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問答題

【簡答題】簡述非晶氫化氮化硅（α-SiNx：H）薄膜的優(yōu)點(diǎn)及其制備工藝。
答案： （1）H原子對硅材料中的體缺陷和晶界起到鈍化作用，降低表面復(fù)合速度，進(jìn)而提高VOC和ISC。
（2）氮化硅還有...
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