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請(qǐng)?jiān)谙铝羞x項(xiàng)中選出多晶硅化金屬的英文簡(jiǎn)稱:()。
A.Oxide
B.Nitride
C.Silicide
D.Polycide
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B.Nitride
C.Silicide
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單項(xiàng)選擇題
單晶硅刻蝕一般采用()做掩蔽層,以氟化氫為主要的刻蝕劑,氧氣為側(cè)壁鈍化作用的媒介物。
A.氮化硅
B.二氧化硅
C.光刻膠
D.多晶硅
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