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【簡答題】集成電容主要有哪幾種結構?
答案:
①金屬-絕緣體-金屬(MIM)結構;
②多晶硅/金屬-絕緣體-多晶硅結構;
③金屬叉指結構;
④PN結電容;
⑤MOS電容。
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答案:
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答案:
光刻是一種圖形復印和化學腐蝕相結合的精密表面加工技術。
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